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半导体前道量检测设备行业报告（二） ：先进制程关键设备，电子束检测正崛起
- 2024-06-26 07:11:32上传人：红薇**露ゅ
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核心提要电子束检测是先进制程关键设备随着集成电路工艺节点减小，缺陷尺寸减小、缺陷密度增加、漏检风险逐渐提升，受益加速电压下的波长优势，电子束检测技术精度较高，且对于电性缺陷具有独特的识别能力。先进制程及其配套产业链或将成为大基金三期的重点发力方向，半导体前道量检测设备目前国产化率仅个位数，电子束检测
- p 1 、电子束检测是先进制程关键设备
- p 2 、国内电子束检测设备市场有望快速发展
- p 3 、电子束检测设备国产替代空间广阔
- p 4 、风险提示与投资建议
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